目的
垂直色分離型の撮像素子において、画素開口率を層間で変化させることなく、かつ画素開口率を低下させることなく、各層にて適切な大きさの蓄積容量を設けた撮像素子及びその製造方法を提供する。
効果
垂直色分離型の撮像素子において、画素開口率を層間で変化させることなく、かつ画素開口率を低下させることなく、各層にて適切な大きさの蓄積容量を設けることができる。
技術概要
少なくともＮ（Ｎは２以上の整数）以上の波長域の光を入射したときの入射方向である上から下へ向けた順に、第Ｎから第１までの複数の層が積層して構成され、
複数の層のうち第１以外の層（第ｎ（ｎはＮ以下かつ２以上の整数）の層）のそれぞれが、第ｎの光電変換層と、第ｎの信号読み出し回路と、を備え、
第１の層が、第１の光電変換層と、第１の信号読み出し回路と、を備えた垂直色分離型の撮像素子において、
第Ｎから第１までの信号読み出し回路は、少なくとも１つのＴＦＴを備えると共に、配線及び蓄積容量用電極を備え、
第Ｎから第１までの光電変換層は、画素電極、有機膜及び対向電極を備えており、
ＴＦＴは、入射の逆方向である下から上へ向けて、ゲート電極、ゲート絶縁膜、半導体、ソース・ドレイン電極及び保護膜の順に積層して構成され、
蓄積容量用電極は、入射方向からの平面視で全面が画素電極に覆われると共に、画素電極との間で保護膜を挟むように、画素電極の下部であって、ゲート絶縁膜の直上かつ保護膜の直下に設けられており、ソース・ドレイン電極と同一の材料及び膜厚からなり、かつ同時に形成された電極である撮像素子。
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