目的
分析精度を向上させた元素分析システムを提供する。
技術概要
励起レーザ光を出力するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出力された前記励起レーザ光によって励起されて、パルスレーザ光を発振するレーザ発振部と、
前記レーザ発振部で発振された前記パルスレーザ光が照射された対象物で発生したプラズマ光に基づいて、前記対象物に含有する元素を分析する分析部と、
前記レーザ光源から出力された前記励起レーザ光を前記レーザ発振部に導く光ファイバケーブルとを備える元素分析システムにおいて、
前記光ファイバケーブルは、予め定められた許容曲げ直径より小さい曲げ直径に湾曲された湾曲部を有することを特徴とする元素分析システム。
基本情報
開放特許情報
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