効果
厚みレベル（例えば、サブミクロンオーダ）の精度で検出対象物の配置を検出可能である。
技術概要
透光体を具備し、該透光体の所定の面Ｆの表側近傍に検出対象物が配されていることを検知する超近接スイッチであって、
光を照射して、近接場光が存在する層を、面Ｆの表側に発生させる照射手段と、
近接場光が検出対象物に反射されて生じる散乱光の検出に基づいて、該層内のいずれに検出対象物が配されているかを検知する検出手段と、
外部に信号を出力する信号発信手段とを備え、
検出対象物が進入したのを検出し、
散乱光を該検出手段に向けて屈折させる円弧状面を有し、
検出対象物は、工具の先端部であることを特徴とする超近接スイッチ。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
