目的
ＭＥＭＳ等への工業利用が可能な流路構造体の流路を、製造コストの低減を実現しつつ目標とする形状に形成できる流路構造体の製造方法及び流路構造体を提供する。
効果
ＭＥＭＳ等への工業利用が可能な流路構造体の流路を、製造コストの低減を実現しつつ目標とする形状に形成できる流路構造体の製造方法及び流路構造体を提供できる。
技術概要
流路を有する流路構造体の製造方法であって、
流路構造体となる基材の表面に対し、形成予定の前記流路の延びる方向である流路方向に沿って予め設定される設定荷重を加える流路設定工程と、
前記形成予定の前記流路の起点となる位置に対し、前記基材の外部から内部に対して物理的なエネルギーを加える起点設定工程と、
を含み、
前記設定荷重は、前記形成予定の前記流路の幅、深さ及び前記基材における前記流路の位置の少なくとも何れか１つに基づいて前記設定荷重が設定され、
前記流路設定工程及び前記起点設定工程を経ることにより、前記基材の内部で前記起点から亀裂が伸展して前記流路が形成される、
流路構造体の製造方法。
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