目的
ASEM法を用いた測定において、測定対象物の広い領域に音波を照射しつつ、当該領域の各点に照射される音波の位相を揃えることで、より大きなASEM信号を得る。
効果
ASEM法を用いた測定において、測定対象物の広い領域に音波を照射しつつ、当該領域の各点に照射される音波の位相を揃えることで、より大きなASEM信号を得ることができる。
技術概要
測定対象を非侵襲に測定する装置であって、
前記測定対象の所定の領域内の異なる箇所にそれぞれ音波を照射するための音波発生源と、
前記音波が照射された前記測定対象の各箇所で発生する電磁場を受信し、受信した電磁場の強度、位相および周波数からなる群から選択される少なくとも1つに基づいて、前記測定対象の電気的特性、磁気的特性、電気機械特性および磁気機械特性からなる群から選択される少なくとも1つの特性を示す信号を測定する測定部と、
を備え、
前記音波発生源で発生した音波が前記測定対象の所定の領域内の異なる箇所に到達する時刻は等しいことを特徴とする測定装置。