目的
ワイヤの断線やウェーハのバリ発生を抑制するウェーハの製造方法を提供する。
効果
基台部から導電性接着剤を介してインゴットに電圧を印加せずに、インゴットに直接電極を接続するため、接着剤の導電性が不要となり、導電性接着剤の抵抗値不均一による切り抜け時のワイヤ断線や接着剤付近のウェーハのバリ発生などを抑制することができる。
技術概要
側面と両端面とからなるインゴットをワイヤで放電加工しウェーハにスライスするウェーハの製造方法で、
間隔をおいて隣接する一対のガイドローラと、一対のガイドローラに軸方向に間隔をおいて複数回巻き掛けられるワイヤと、インゴットを固定する基台部とワイヤとを相対的に加工送りして並列するワイヤをインゴットに切り込ませる駆動手段と、固定されたインゴットに高周波パルス電圧を供給する高周波パルス電源ユニットと、を備えるマルチワイヤ放電加工装置を用い、
固定ステップと、
接続ステップと、
固定及び接続ステップの後、駆動手段を作動させインゴットの側面からワイヤを所定量切り込ませる第１加工ステップと、
１加工ステップの後、部分的にスライスされた領域のインゴットの側面に導電性部材を固定し、導電性部材でスライス部同士を電気的に接続する導電性部材固定ステップと、
導電性部材固定ステップを実施した後、第１加工ステップで切り残したインゴットの領域をワイヤで加工し、インゴットを複数のウェーハに分割する第２加工ステップと、からなり、
インゴットの端面に接続した電極からの電圧が、導電性部材を介してウェーハへ
均等に印加されるウェーハの製造方法。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
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