目的
ワイヤーソー装置で結晶インゴットをスライスする際の切断面の凸凹やうねりの発生を抑制すると共に、ウエーハの製造工程に要する時間を短縮することができるスライス方法を提供する。
効果
結晶インゴットに形成された溝を氷で埋めながら、結晶インゴットをスライスすることにより、ワイヤーソー装置で結晶インゴットをスライスする際の切断面の凸凹やうねりの発生を抑制すると共に、ウエーハの製造工程を短縮することができる。
技術概要
ワイヤーソー装置で結晶インゴットをスライスするスライス方法であって、
該ワイヤーソー装置のワイヤーを結晶インゴットに切込ませ溝を形成する溝形成工程と、
結晶インゴットを冷却手段により冷却させ、該溝形成工程で形成された該溝にノズルから水または水滴もしくは噴霧を吹きかけ該溝に浸入させ氷結させて該溝を氷で埋める氷結工程と、
からなるスライス方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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