目的
ウェーハを平坦に切り出すことができるウェーハの製造方法を提供する。
効果
インゴットの中心部に近づくほど除去されにくい加工屑が揺動によって除去されることで、加工屑の放電による余分な加工が行われず、ウェーハの中心部を平坦に切り出すことができる。
また、ワイヤとインゴットの相対移動によりインゴットを揺動させると共に、加工送り速度又はワイヤの電圧を調整することで、ウェーハの全面を平坦に切り出すことができる。
技術概要
ガイドローラと、ワイヤと、基台部と、高周波パルス電源ユニットと、を備えるマルチワイヤ放電加工装置を用いて、該ワイヤで円柱状のインゴットをウェーハにスライスするウェーハの製造方法で、
円柱状のインゴットを該基台部に固定する固定ステップと、
ワイヤでインゴットを複数枚のウェーハに切断するスライスステップと、からなり、
スライスステップは、
ワイヤがインゴットの外周に切り込んでから、ワイヤとインゴットを所定量加工送りする第１スライスステップと、
第１スライスステップ実施後、少なくともワイヤがインゴットの軸心部分を通過するまで加工送りする第２スライスステップと、
第２スライスステップ実施後、インゴットがウェーハに切断されるまで加工送りする第３スライスステップと、から構成され、
第２スライスステップでは、
ワイヤとインゴットとを加工送りさせつつ、
ワイヤとインゴットを相対移動させ、ウェーハの中央領域で加工溝に溜まる加工屑の排出を促進して平坦なウェーハを形成し、
第１及び第３スライスステップでは、第２スライスステップより加工送り速度が速く、又はワイヤに供給される電圧が低く設定されているウェーハの製造方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
