位置検出装置及びその制御方法、並びにそのシステム

開放特許情報番号:L2026001130 開放特許情報登録日:2026/7/27 最新更新日:2026/7/27

基本情報
出願番号
公開番号
登録番号
出願日
2012/5/30
公開日
2013/12/12
出願人
株式会社ディスコ
特許権者
株式会社ディスコ
権利化状況
権利化済
発明の名称
位置検出装置及びその制御方法、並びにそのシステム
開放特許情報
技術分野
情報・通信
機能
機械・部品の製造 制御・ソフトウェア
適用製品
位置検出装置
目的
物体が基板に接触した位置、または物体が基板に非接触に近づいた位置を、正確(高精度)にかつ高速に検出することができる静電容量型の位置検出装置及びその制御方法(位置検出方法)、並びに位置検出装置を提供する。
効果
複数のノードにそれぞれ対応する複数の対数信号比を生成することにより、例えば、導電膜上に形成された絶縁膜のXY平面上に物体が接近または接触する位置の座標を正確にかつ高速に検出することができる。
技術概要
導電膜と、
前記導電膜上に形成された絶縁膜と、
前記導電膜のX軸またはY軸の少なくともいずれか一方の軸上における少なくとも2点に接続された第1および第2のノードと、
前記第1および第2のノードに、クロック信号を印加する第1の回路(印加回路)と、
前記第1および第2のノードからそれぞれ得られた第1および第2の出力電圧の対数信号比を示す第1の対数信号比を生成する第2の回路(抽出回路)と、
前記第1の対数信号比に基づき、前記絶縁膜に物体が接近または接触した前記少なくともいずれか一方の軸の座標位置を導く第3の回路(検出回路)と、
を有する位置検出装置。
イメージ図
実施実績   :
許諾実績 :
特許権譲渡  :
特許権実施許諾:
登録者情報
登録者名称
その他の情報
関連特許
(国内):
(国外):
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