適用製品
半導体装置及びその製造方法並びにシステム
効果
信頼性の高い回路基板を低コストで供給することが可能となる。
技術概要
電子回路が主面に描画され、第1の電子回路の外部と通信する第1と第2の内部端子電極を有する第1の基板と、
第2の電子回路の外部と通信する第3と第4の内部端子電極を有し、第1の基板に積層された第2の基板と、
第1の基板の表面方向とは異なる方向に伸びる柱状の塊の集合体によって構成されている配線層と、
第3及び第4の内部端子電極と、それぞれ対応する第1及び第8の配線の第1のノードとを接続する第1と第2のボンディングワイヤと、
第9の配線を跨ぐように、第8の配線の第2のノードと第2の配線の第1のノードとを接続する第8のボンディングワイヤと、
第2の配線の第2のノードと第1の基板以外の半導体装置内の第10のノードとを接続する第3のボンディングワイヤと、を備え、
第1乃至第3及び第8のボンディングワイヤは、それら断面が円状であり、
配線層は、第1の基板の表面に垂直な方向から見たエッジ部を含み、第1の基板と接するエッジ部における配線層の第1の基板の表面と垂直な断面の角度が55°以下である、ことを特徴とする半導体装置。