適用製品
半導体装置及びその製造方法並びにシステム
効果
信頼性の高い回路基板を低コストで供給することが可能となる。
技術概要
第1の電子回路が主面に描画され、前記第1の電子回路がそれぞれ前記第1の電子回路の外部と通信する第1と第2の内部端子電極を有する第1の基板と、
第2の電子回路が主面に描画され、前記第2の電子回路がそれぞれ前記第2の電子回路の外部と通信する第3と第4の内部端子電極を有し、前記第1の基板に積層された第2の基板と、
前記第1の基板の表面の一部に形成され、それぞれが第1及び第2のノードを有する第1及び第2の配線を含み、前記第1の基板の表面方向とは異なる方向に伸びる柱状の塊の集合体によって構成されている配線層と、
前記第3及び第4の内部端子電極と、それぞれ対応する前記第1及び第2の配線の第1のノードとを接続する第1と第2のボンディングワイヤと、を備え、
前記第1と第2のボンディングワイヤは、それら断面が円状であり、
前記配線層は、前記第1の基板の表面に垂直な方向から見たエッジ部を含み、前記第1の基板と接する前記エッジ部における前記配線層の前記第1の基板の表面と垂直な断面の角度が55°以下である、ことを特徴とする半導体装置。