マスクセット

開放特許情報番号：L2026001126 開放特許情報登録日：2026/7/27 最新更新日：2026/7/27

基本情報

出願番号

公開番号

登録番号

出願日

2010/7/15

公開日

2012/2/2

出願人

株式会社ディスコ

特許権者

株式会社ディスコ

権利化状況

権利化済

発明の名称

マスクセット

開放特許情報

技術分野

電気・電子金属材料

機能

機械・部品の製造

適用製品

マスクセット

目的

第１および第２のメタルマスクを含むメタルマスクセットを用いて基板に所定の配線パターンを成膜する際、配線パターンの寸法精度を向上させる。

効果

第１および第２のマスクを含むマスクセットを用いて基板に所定の配線パターンを成膜する際、配線パターンの寸法精度を向上させることが可能である。

技術概要

貫通孔である第１の開口部を有する第１のマスクと、
貫通孔である第２の開口部を有し前記第１の開口部に対応する窪んだ空間部を有する第２のマスクと、を備えることを特徴とするマスクセット。

イメージ図

実施実績　　　：

無

許諾実績　：

無

特許権譲渡　　：

否

特許権実施許諾：

可

登録者情報

登録者名称

その他の情報