適用製品
金属酸化物又はその前駆体からなる粒子の製造方法、分散液、導電性薄膜の製造方法
目的
金属酸化物又はその前駆体からなる粒径の小さい粒子を製造することができる製造方法を提供する。また、そのような粒子を提供する。
効果
金属酸化物又はその前駆体からなる粒径の小さい粒子を製造することができる製造方法を提供することができる。また、そのような粒子を提供することができる。
技術概要
金属酸化物又はその前駆体からなる粒子の製造方法であって;
アルカリ溶液を第1流路に導入する第1導入工程と、
スズ塩及び/又はインジウム塩を溶解させた金属塩溶液を第2流路に導入する第2導入工程と、
前記第1流路を流れるアルカリ溶液と前記第2流路を流れる金属塩溶液とを合流部で合流させて、100℃を超え173℃以下の混合液を得る混合工程と、
前記合流部及びその下流に配置された反応流路でアルカリ溶液と金属塩溶液とを反応させて粒子を形成させる反応工程とを備え、
前記金属酸化物がスズの酸化物及び/又はインジウムの酸化物であり、
前記粒子の平均粒径が10nm未満であることを特徴とする粒子の製造方法。