目的
透過型電子顕微鏡を用いて試料内の三次元磁化構造を測定する場合に、データ処理時間の短縮と、試料の微細な三次元磁化構造の測定精度の向上との少なくとも一方を可能とする技術を提供する。
効果
透過型電子顕微鏡を用いて試料内の三次元磁化構造を測定する場合に、データ処理時間の短縮と、試料の微細な磁化構造の測定精度の向上との少なくとも一方が可能となる。
技術概要
試料に収束電子線を照射することにより当該試料を透過した電子の検出データを処理するデータ処理装置であって、
前記検出データは、前記収束電子線の中心軸に関して互いに反対側に位置する検出領域の各々について、当該検出領域への透過電子の総量を示す検出強度を含み、
前記互いに反対側の検出領域それぞれの前記検出強度同士の差分を求める差分取得部と、
前記差分に基づいて、前記試料の内部の磁化情報を示す磁化情報データを計測するデータ計測部と、を有する、
データ処理装置。
基本情報
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