適用製品
ガス回収装置とガス回収方法、回収ガス量計測装置
目的
ヘリウムガス等の対象ガス(又はその液化ガス)を使用する利用者から対象ガスを回収する場合に、対象ガスの回収量を正確に計測できる技術を提供する。
効果
対象ガスまたはその液化ガスを使用する利用者から対象ガスを回収する場合に、対象ガスの回収量を正確に計測できる。
技術概要
対象ガスを回収管を通して回収する場合に前記対象ガスの回収量を計測する回収ガス量計測装置であって、
前記回収管を流れる前記対象ガスの温度を計測する温度計と、
前記回収管を流れる前記対象ガスの純度を計測する純度計と、
前記回収管を流れる前記対象ガスの流量を計測する流量計と、
計測された前記温度、前記純度、および前記流量に基づいて、前記対象ガスの前記回収量を算出する演算装置と、を備える、
回収ガス量計測装置。