目的
ペルチェ素子を通過する熱流を高速検知可能であると共に、熱抵抗が無視できるほど小さい超低熱抵抗熱流センサ付きペルチェ素子を提供する。
効果
ペルチェ素子上に直接的に厚さ数１０〜数１０００ｎｍクラスの金属薄膜（異常ネルンスト熱流センサを構成する複数の細線）を形成しパターニングさせただけの構造をもつため、その熱抵抗は、１０↑（−８）〜１０↑（−１０）ｍ↑２Ｋ／Ｗと極めて小さな影響となり、ペルチェ素子の冷却や加熱効率に全く影響を及ぼさず、ペルチェ素子を通過する熱流密度を極めて高速にリアルタイム計測することが可能となる。熱電効果である異常ネルンスト効果を起源として熱流を検出するために、外部からの電源供給は不要であり、２端子の電圧計測で計測が可能である。
技術概要
ペルチェ素子を形成する、Ｐ型素子及びＮ型素子を挟持する一対の絶縁性基板の一対の外側面の上面か下面、もしくは両面に亘って、異常ネルンスト熱流センサを構成する複数の細線が直接形成されている構造を有し、
前記一対の絶縁性基板の一対の内側面には、前記Ｎ型素子及び前記Ｐ型素子を交互に直列に接続する一対の電極パターンが形成されている、熱流センサ付きペルチェ素子。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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