目的
ヘリウム液化機に油分が進入してしまう前に、当該進入を防止しつつ、その兆候を容易に捉えられるようにする。
効果
液化対象のヘリウムガスを圧縮機で圧縮してヘリウム液化機へ供給する場合に、ヘリウム液化機に油分が進入してしまう前に、当該進入を防止しつつ、その兆候を容易に捉えることができる。
技術概要
液化対象のヘリウムガスをヘリウム液化機へ供給するヘリウムガス供給装置であって、
前記ヘリウムガスを前記ヘリウム液化機へ流すガス流路と、
前記ガス流路に設けられ、前記ヘリウムガスを圧縮する圧縮機と、
前記ガス流路において前記圧縮機の下流に設けられた活性炭フィルタと、を備え、
前記活性炭フィルタは、通過する前記ヘリウムガスに油分が含まれているかを検査するためのものであり、当該活性炭フィルタへの油分付着の有無を検査可能に設けられている、
ヘリウムガス供給装置。
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