適用製品
イオン源のビーム強度予測方法および予測装置
目的
イオン源の運転においてビーム強度を推測するための手法を提供する。
効果
熟練を要し属人的であったイオン源のビーム強度の予測を高度化することにより、イオン源の動作を安定化することができる。
技術概要
プラズマ発光を伴って動作するイオン源のプラズマ発光像を撮像装置により取得するステップと、
プラズマ発光像の画像データをニューラルネットワークを含む機械学習モデルに入力するステップと、
イオン源を運転するための制御可能量の数値データである制御数値データおよびイオン源の運転中に観測可能な情報の数値データである観測数値データを機械学習モデルに入力するステップと、ただし、観測数値データは画像データを含んでおらず、
を含み、
イオン源に与える制御可能量の数値データ、イオン源が出力するイオンビームのビーム強度、およびイオン源のプラズマ発光の画像データを含む訓練用データセットにより、機械学習モデルを訓練するステップと、
機械学習モデルの訓練済のニューラルネットワークの入力に、イオン源に与える制御可能量の数値データおよびイオン源のプラズマ発光の画像データを含む予測用データセットを入力して、訓練済のニューラルネットワークの出力により、イオン源が出力するイオンビームのビーム強度の予測値を出力させるステップと
を含むイオン源のビーム強度の予測方法。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
