適用製品
カーボンを主体に構成されており所定の微細構造を有する構造体を製造する方法、およびこれを用いた表面電位顕微鏡用標準サンプル
目的
カーボンナノウォールを製造する新規な方法を提供する。製造方法の実施に適した製造装置を提供する。性状および／または特性の制御が容易なカーボンナノウォールの製造方法を提供する。かかる製造方法の実施に適した製造装置を提供する。新規な構造の配向したカーボンナノウォールを提供する。
表面電位顕微鏡の校正に用いて好適な標準サンプルを提供する。
効果
本発明のカーボンナノウォールの製造方法によれば、性状および／または特性の制御が容易なカーボンナノウォールの製造方法が提供できる。
本発明のカーボンナノウォールの製造装置は、かかる製造方法の実施に適した製造装置を提供できる。
本発明の表面電位顕微鏡用標準サンプルは、表面電位顕微鏡の校正に用いて好適な標準サンプルを、上記のカーボンナノウォールの製造方法及び装置を用いて提供できる。
技術概要
少なくとも走査型電子顕微鏡のチャンバー内の有機ガスに含まれる炭素を構成元素とする原料物質に起因する、コンタミネーションを用いて該チャンバー中に配置した試料基板の表面にカーボンナノウォールを形成するものであって、
前記試料基板の表面にカーボンナノウォールを形成する領域を定め、
前記カーボンナノウォールの指定形状の創製に必要な、前記走査型電子顕微鏡による前記試料基板の表面の一描画区画の描画時間を演算し、
前記走査型電子顕微鏡による前記試料基板の表面に描画される一描画区画の形状データに基づいて、前記カーボンナノウォールを形成する領域と合致するように、前記描画区画の重複領域の配置を定め、
前記描画区画の配置の指定に従って、前記走査型電子顕微鏡による描画により、前記試料基板の表面上に各描画区画の重複領域に、前記指定形状の前記カーボンナノウォールを創製すると共に、前記重複領域は前記走査型電子顕微鏡の走査方向に対して鉛直方向を含む斜め方向に位置する走査線折返し端部近傍とする、
カーボンナノウォールの製造方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
