適用製品
電子線トモグラフィ装置、電子線トモグラフィ方法、および、そのプログラム
目的
試料から取得された電子線回折図形に基づいて試料の三次元構造を再構築する電子線トモグラフィ装置、電子線トモグラフィ方法、および、そのプログラムを提供する。
効果
試料から取得された電子線回折図形に基づいて試料の三次元構造を再構築する電子線トモグラフィ方法は、２以上の要素数の電子線回折図形セットおよびそれに対応した強度像セットを作成する。このようにして要素数に応じて作成された電子線回折図形セットおよび強度像セットは、測定された角度間でグルーピングされるので、確度の高い要素分けを可能とする。このようにしてグルーピングされた強度像セットを用いれば、試料内に構造は異なるが組成が同じ物質を含有していても、精度よく試料の三次元構造を再構築できる。
技術概要
試料から取得された電子線回折図形に基づいて前記試料の三次元構造を再構築する電子線トモグラフィ方法であって、
前記試料に複数の角度から電子線を走査しながら照射し、電子線回折図形群を取得するステップであって、前記電子線回折図形群は、それぞれが角度および走査位置の情報を有する複数の電子線回折図形からなる、ステップと、
前記電子線回折図形群について２以上の要素数で非負値行列因子分解（ＮＭＦ）を行い、前記２以上の要素数の電子線回折図形セットおよび対応する強度像セットを作成するステップと、
前記電子線回折図形セットおよび対応する強度像セットを、前記複数の角度間でグルーピングするステップと、
前記グルーピングされた強度像セットに基づいて前記試料の三次元構造を再構築するステップと
を包含する、方法。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
