目的
専用の加工装置の移し替えなく高い創成効率でマイクロテクスチャを創成する超音波加工装置を提供する。
効果
専用の加工装置の移し替えなく高い創成効率でマイクロテクスチャを創成する超音波加工装置を提供することができる。
技術概要
被加工面にマイクロテクスチャを形成する超音波加工装置であって、
超音波振動体と、
移動機構と、
前記超音波振動体と前記移動機構を接続する柔軟支持部を備え、
前記超音波振動体は超音波振動子と振動ホーンと工具を有し、
前記移動機構により前記工具を前記被加工面に押し込みながら、かつ、前記超音波振動体が励振しながら前記被加工面を加工し、
前記柔軟支持部は前記被加工面の加工による時間平均的な加工反力と前記柔軟支持部の時間平均的なばね力とが釣り合う位置に配設され、
前記超音波振動体の質量ｍ１と前記柔軟支持部のばね定数ｋからなる系の低周波固有振動数ｆpが前記超音波振動体の超音波共振周波数ｆsの１／１０以下である
ことを特徴とする超音波加工装置。
基本情報
開放特許情報
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