目的
金型で成形した成形物に発生する不良を検知するチップ型耐熱音響センサ及びその製造方法を提供する。
効果
金型で成形した成形物に発生する不良を検知するチップ型耐熱音響センサ及びその製造方法を提供することができる。
技術概要
金型の外表面に配置して音響信号を検出するチップ型耐熱音響センサにおいて、
前記チップ型耐熱音響センサは、金属製チップと圧電膜と電極膜を有し、
前記金属製チップと、その一方面に前記圧電膜と前記電極膜を積層した積層膜によって一体型のチップ型耐熱音響センサを形作り、前記金属製チップの他方面は前記金型の外表面と接触するものであり、
前記圧電膜は、前記金型内の被検体の内部に検出用の音響信号を前記金属製チップ及び前記金型を通して供給し、その音響信号の反射信号を前記金型及び前記金属製チップを通して検出するものであることを特徴とするチップ型耐熱音響センサ。
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