目的
光フェーズドアレイの光導波路のピッチが狭小であっても位相測定と位相補償の精度を向上させることのできる位相測定装置および位相補償装置を提供する。
効果
位相測定装置は、位相シフトデジタルホログラフィ法によって導出される位相測定結果の精度を向上させる。したがって、位相測定装置は、光フェーズドアレイの光導波路のピッチが狭小であっても位相測定の精度を向上させることができる。
位相補償装置は、位相測定装置の測定精度の向上により、光フェーズドアレイの光導波路のピッチが狭小であっても、位相補償の精度を向上させることができる。
技術概要
複数チャンネルの光導波路のそれぞれに光の位相を制御する位相シフターが設けられた光フェーズドアレイの光出力部から出射される出射光を取得して各光導波路に生じた位相のばらつきを測定する位相測定装置であって、
出射光を物体光と参照光との干渉縞情報として取得する出射光取得部と、
それぞれの位相シフターにおける位相を個別に制御する制御信号を発生する信号発生器と、
信号発生器を制御すると共に、複数の干渉縞情報のそれぞれの取得タイミングを出射光取得部に設定する出射光取得制御部と、
位相シフトされた複数の干渉縞情報と、位相シフトデジタルホログラフィ法によって適用される参照光である再生照明光と、を用いて、光導波路構造の予め定められた異なる複数の解析条件でそれぞれ算出された複数の再生光を、光導波路間クロストークの影響を考慮した所定の目的関数に適用して目的関数の最小値を得るときの再生光の位相を計算することで位相のばらつきを算出する演算部と、を備える
ことを特徴とする位相測定装置。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
