目的
段差を有する被露光物の表面に一括で露光可能であると共に、パターンの微細化と露光領域の大面積化の両立を実現可能な露光装置を提供する。
効果
段差を有する被露光物の表面に一括で露光可能であると共に、パターンの微細化と露光領域の大面積化の両立を実現可能な露光装置を提供できる。
技術概要
スペックル光を用いて被露光物を露光する露光装置であって、
コヒーレント光を発する光源と、
前記光源の光軸上に配置する光拡散部材と、
前記光拡散部材で散乱されたスペックル光を平行光にするコリメートレンズと、
前記コリメートレンズを光軸方向に移動可能なコリメートレンズ保持台と、
前記被露光物を保持する被露光物保持台と、を備え、
前記コリメートレンズは、フレネルレンズまたはマイクロレンズアレイである、露光装置。
基本情報
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