適用製品
塗布型導電膜の製造方法および塗布型導電膜の前駆体溶液
目的
形成した導電膜のシート抵抗の低減、およびこの導電膜上への膜積層の容易化を図るとともに、導電膜の微細パターンを簡便に形成しつつ、環境負荷の軽減も図り得る、塗布型導電膜の製造方法および塗布型導電膜の前駆体溶液を提供する。
効果
塗布型導電膜の製造方法によれば、現像溶液を用いる現像工程等が不要であるので、環境負荷の増大を抑制することができる。
シート抵抗の増大を確実に防止することができ、導電膜上に他の膜を積層することが極めて容易となる。
導電膜の微細化パターンを簡便に形成することができ、さらに、現像溶液等を用いる必要がないので環境負荷の軽減を図ることもできる。
技術概要
被積層体上に、疎水性の有機シラン化合物からなる電極パターニング膜を形成する電極パターニング膜形成工程と、
該電極パターニング膜のうち導電膜を形成したい所定領域にエネルギー線を照射して、該所定領域を親水性領域に、該所定領域以外の領域は疎水性領域の状態を維持するように、各々設定するエネルギー線照射工程と、
酸化インジウムおよび酸化スズを含んだ、2-メトキシエタノールおよびエチレングリコールを混合してなる塗布型導電性酸化物溶液を、前記電極パターニング膜上に塗布して、前記親水性領域のみに該塗布型導電性酸化物溶液が残るように設定する印刷工程と、
前記親水性領域のみに残った該塗布型導電性酸化物溶液に対して熱処理を施して、パターン化された導電膜を形成する導電膜形成工程と、
をこの順に行い、
前記塗布型導電性酸化物溶液において、前記2-メトキシエタノールおよび前記エチレングリコールの混合液における、該2-メトキシエタノールの重量割合が50%以上であることを特徴とする塗布型導電膜の製造方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
