適用製品
治具、積層型固体撮像素子の製造方法、および接合型固体撮像素子の製造方法
目的
良質な光電変換膜を備える固体撮像素子を製造する際に使用される治具を提供する。
効果
良質な光電変換膜を備える固体撮像素子を製造する際に使用される治具を提供することができる。
技術概要
固体撮像素子を製造する際に使用される治具であって、
第1開口部を有し、パッケージ、および前記パッケージにアッセンブルされた信号読み出し回路基板を覆う第1部材と、
前記信号読み出し回路基板上に設けられる光電変換膜の成膜領域に応じた第2開口部を有し、前記成膜領域を囲むように、前記第1開口部に嵌まる第2部材と、
を備える治具。