目的
粒子径の小さい金属酸化物ナノ粒子を低コストで簡単に製造することができる金属酸化物ナノ粒子の製造方法を提供する。
効果
pH11以上のアルカリ水溶液中に存在する金属イオンが少なく、オゾンガスやオゾン水による酸化工程において生成されるナノオーダーの金属酸化物微粒子の粒成長が抑制され、粒子径の小さな金属酸化物ナノ粒子が製造できる。
アルカリの添加及びオゾンガスの通気、pH11以上に調整したオゾン水の添加という簡易な工程によって、100℃以下の温度範囲において、粒子径の小さな金属酸化物ナノ粒子を低コストで製造することができる。
技術概要
金属のハロゲン化物である塩化アンチモンまたはフッ化スズを出発物質とする金属酸化物ナノ粒子の製造方法であって、
塩化アンチモン水溶液またはフッ化スズ水溶液に、アルカリ水溶液を加えてpH11以上に調整した後、オゾンガスを通気することを特徴とする金属酸化物ナノ粒子の製造方法。