目的
摩擦中の摩擦界面で生じるサブミクロンオーダーの現象を観察することが可能な摩擦の観察方法及び観察装置を提供する。
効果
摩擦中の摩擦界面で生じるサブミクロンオーダーの現象を観察することが可能となる。
技術概要
電子透過膜の第１面に押圧部材を押し付けつつ、当該電子透過膜の面方向に沿って、前記押圧部材を移動することで、摩擦を生じさせるステップと、
前記電子透過膜の前記第１面とは反対側の第２面に対し、電子ビームを照射するステップと、
前記電子透過膜を透過した前記電子ビームが前記電子透過膜と前記押圧部材との界面に照射されることで、前記界面で発生した電子または電磁波を検出し、前記電子透過膜において前記摩擦が生じている領域の像を取得するステップと、を備えている、摩擦の観察方法。
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