適用製品
積層体、積層体を含む素子及び積層体の製造方法
目的
圧電体層と磁性体層との間の界面の乱れの抑制された積層体、当該積層体を含む素子及び当該積層体の製造方法を提供する。
効果
圧電体層と磁性体層との間の界面の乱れの抑制された積層体、当該積層体を含む素子及び当該積層体の製造方法を提供することができる。
技術概要
圧電性を有する酸化物の結晶からなる圧電体層、
金属層及び
強磁性体であるホイスラー合金の結晶からなる磁性体層を備え、
前記圧電体層、前記金属層及び前記磁性体層がこの順に積層されている積層体。