目的
3軸の力計測、及び、面内の力分布の計測が可能な力センサを提供する。また小型化可能な力センサを提供する。
また、6軸の力計測、及び、面内の力分布の計測が可能な力センサを提供する。
効果
ある実施形態において、プレートの面内だけでなく、面外方向の変位も計測することが可能となる。ある実施形態において、力センサを小型化することができる。
技術概要
(i)プレート、(ii)ばね部、(iii)光を2以上の方向から同時に計測することを可能とする光学素子、及び(iv)撮像部を備える、力センサであって、
前記プレートはその表面上に模様が付されており、
前記ばね部は、前記プレートに力が加わったときに、x、y、z方向に弾性力を発揮しうるように配置されており、
前記撮像部は、前記光を2以上の方向から同時に計測することを可能とする光学素子を介して、前記プレートに付された模様を2以上の方向から撮像することができるよう配置されている、前記力センサ。