適用製品
処理装置および処理方法、接合装置および接合方法
目的
板状の対象物の両面を同時に処理することができ、対象物の厚みが薄い場合であっても、変形等を抑制し、搬送することができる、処理装置および処理方法を提供する。
また、板状の対象物の厚みが薄い場合であっても、変形等を抑制し、搬送して、２枚の対象物を接合することができる、接合装置および接合方法を提供する。
効果
板状の対象物の両面を同時に処理することができ、対象物の厚みが薄い場合であっても、変形等を抑制し、搬送することができる、処理装置および処理方法が提供される。また、板状の対象物の厚みが薄い場合であっても、変形等を抑制し、搬送して、２枚の対象物を接合することができる、接合装置および接合方法が提供される。
技術概要
磁石制御手段に連動して移動可能な磁石が取り付けられた保持部材を有し、板状の対象物の外側領域を保持することで、内側領域の両面が露出した状態で前記対象物を保持する保持手段と、
前記磁石を空中または真空中に浮いた状態で固定し、前記保持手段を空中または真空中に浮かせる磁石制御手段と、
前記保持手段の前記磁石を移動させることで、空中または真空中に浮いた状態の前記保持手段に保持された対象物が処理領域に配置されるように、前記磁石制御手段を移動させる移動手段と、
前記処理領域において前記対象物の露出した表面を処理する表面側処理手段、および／または、前記処理領域において前記対象物の露出した裏面を処理する裏面側処理手段と、を備えた、処理装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
