適用製品
デフレクトメトリによる計測対象物の変位または段差、回転角、傾き、形状の計測方法およびその計測装置
目的
結像型デフレクトメトリによる計測対象物の変位および段差の計測方法およびその計測装置を提供する。
効果
結像型デフレクトメトリによる計測対象物の変位および段差の計測方法およびその計測装置を提供できる。
技術概要
第１の格子のパターンを計測対象物の表面もしくは表面近傍に結像させ、
前記表面もしくは表面近傍に結像した像を、計測対象物の表面の法線方向から傾斜した前記計測対象物の表面からの反射方向から、撮像手段で撮影し、
前記表面もしくは表面近傍に結像した像を撮影した画像に対して位相解析を行い、
前記計測対象物の表面の変位または段差、回転角、傾き、形状を計測する、計測方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
