適用製品
機械学習用データ作成装置、機械学習用データの作成方法、学習モデル、観察装置、及びエネルギービームの照射パターンの推定装置等
目的
超解像観察のための新規な観察装置、該観察装置に用いる学習モデル、該学習モデルを生成するための機械学習用データの作成方法、及び該機械学習用データを作成するための装置等を提供する。
効果
超解像観察のための新規な観察装置、該観察装置に用いる学習モデル、該学習モデルを生成するための機械学習用データの作成方法、及び該機械学習用データを作成するための装置等を提供することができる。
技術概要
第１のエネルギービームの照射により第２のエネルギービームを生じる生成部と、
前記生成部において生じた前記第２のエネルギービームを散乱させる、前記第１のエネルギービームの分解能程度の空間周波数を少なくとも有する散乱部と、
前記散乱部により散乱された前記第２のエネルギービームを検出する検出部と、
を備え、
前記第１のエネルギービームは、前記第２のエネルギービームよりも物理的な収束性が高い、
機械学習用データ作成装置。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
