適用製品
レーザ加工装置、レーザ加工システム、レーザ加工方法及び計測方法
目的
ウォータガイドレーザ加工法における加工不良や限界加工深さの原因を解明し、高アスペクト比の微細穴等の加工の実現。
効果
レーザ加工装置では、調整器がウォータジェットの節の配置と節に対するワークの配置との少なくとも一方を調整するので、ウォータジェットによるワークの加工精度や加工効率を向上させることができる。
レーザ加工方法では、節間隔を調整することで加工に適した最大加工長を特定することができ、ウォータジェットによる加工精度を向上させることができる。
ウォータジェットは、節と他の節とで定まる節間部分に対応する領域を加工に用いる。この場合、加工に最適な領域を用いることにより、高アスペクト比の微細穴等の加工が容易になる。
技術概要
ウォータガイドレーザ光を生成するレーザ加工装置であって、
高圧水が供給されウォータジェットを射出するウォータチャンバを有するジェット形成装置と、
加工用レーザ光を前記ウォータチャンバ中に供給する加工光供給装置と、
前記ウォータジェットの表面の局所的な乱れである節の配置と前記節に対するワークの配置との少なくとも一方を調整する調整器と
を備える
レーザ加工装置。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
