目的
超音波発生デバイスの振動膜における共振点を必要に応じて調整可能とする。
効果
超音波発生デバイスにおける振動膜の共振点を、必要に応じて調整することができる。
技術概要
振動膜と、基板と、空気層と、信号源と、共振点調整部とを備える超音波発生デバイスであって、
前記振動膜は、前記基板から離間した位置に配置されており、
前記空気層は、前記振動膜と前記基板との間に形成されており、
前記信号源は、前記振動膜と前記基板との間に、前記振動膜の共振周波数に対応する周波数を有する交流電圧を印加する構成となっており、
前記共振点調整部は、調整膜と、電荷供給部とを備えており、
前記調整膜は、前記振動膜と前記基板との間において、前記空気層を横断するように配置されており、
前記電荷供給部は、前記調整膜に電荷を供給することにより、前記空気層の厚み又は形状を変化させる構成となっており、
これにより、前記共振点調整部は、前記振動膜の共振周波数を調整する構成となっている
超音波発生デバイス。
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