目的
多量に製造しても液滴センサーおよび結露検出装置間の製造ばらつき（製造工程に起因するばらつき）が少なく、検出精度が高く、かつ高い電気出力が得られる、安定した検出特性を有する液滴センサーおよび結露検出装置およびそれらの製造方法を提供する。
効果
多量に製造しても素子間の製造ばらつきが少なく、検出精度が高く、かつ高い電気出力が得られる、安定した検出特性を有する液滴センサーおよび結露検出装置およびそれらの製造方法が提供される。
技術概要
絶縁性基板と、
第１の細線と第１の集電体を有する第１の電極と、
第２の細線と第２の集電体を有する第２の電極とを備え、
前記第１の電極と前記第２の電極は前記絶縁性基板上に配置され、前記第１の細線と前記第２の細線は前記絶縁性基板上に交互に並置されており、
前記第１の細線と前記第２の細線の間に導電性の液滴を介して流れるガルバニー電流を検知する液滴センサーであって、
前記第１の細線および第１の集電体は白金より電気抵抗率の小さな第１の金属含有物層からなり、
前記第２の細線は、前記第１の金属含有物層と、白金または白金合金からなる白金含有物層との複合膜からなり、前記第２の集電体は前記第１の金属含有物層を含み、
少なくとも前記白金含有物層の表面の一部が外部に露出している、液滴センサー。
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