目的
非破壊で観察できる電子顕微鏡及び測定試料の観察方法を提供する。
効果
所定のエネルギーの光電子を通過させるエネルギースリットを備え、エネルギースリットを通過した光電子を電子ビーム検出器で検出するので、電子ビーム検出器で検出する電子のエネルギーを選択でき、特定の物質を選択的に観察できるので、測定試料の最表層より下部に存在する特定の物質も測定試料を破壊することなく観察でき、非破壊で観察することができる。
技術概要
ＣＷレーザーを生成するレーザー光源と、
前記ＣＷレーザーを測定試料に照射する照射レンズ系と、
前記ＣＷレーザーにより前記測定試料から放出された光電子をエネルギーごとに分離するエネルギー分析器と、
所定の前記エネルギーの前記光電子を通過させるエネルギースリットと、
前記エネルギースリットを通過した前記光電子を検出し、検出した前記光電子の強度に基づいて前記測定試料の画像を生成する電子ビーム検出器と、
前記測定試料から放出された前記光電子を前記エネルギー分析器に集束させる第１電子レンズ系と、
前記エネルギースリットを通過した前記光電子を前記電子ビーム検出器に投影する第２電子レンズ系と、
を備え、
前記エネルギースリットには、前記エネルギースリットの位置を移動させて、前記エネルギースリットを通過する前記光電子の前記エネルギーの帯域を変えるためのスリット移動機構が設けられている、電子顕微鏡。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
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