目的
試料厚さや物質の種類の違いによる吸熱量の変化に比較的影響を受けにくい温度波の位相計測を基にした新たなＳＴＥＭ内熱輸送評価法を提供する。
効果
温度波位相法を用いて熱拡散率（α）を測定しているので、試料は測定したい組成からなる試料のみでよく、従来のように比較参照用の既知特性を有する組成を更に設ける必要がなくなり、試料の準備が簡便になる。
また、温度波位相法を用いて熱拡散率（α）を測定する場合には、試験片試料の形状は棒状試料でたり、測定試料の厚さや種類は気にしなく済む。
技術概要
試料に接触する熱電対と、
前記試料上の少なくとも一つの加熱点を、所定周波数（ｆ）のパルス状の電子線を用いて、加熱する加熱装置と、
前記所定周波数のパルス状の電子線による加熱による前記接触点の温度上昇に応答した前記熱電対の出力を検出して、前記所定周波数による前記加熱点の加熱位置に対応する温度波の位相成分を計測する装置とを備え、
前記パルス状の電子線による温度波の位相成分（θ）を用いて、前記加熱点から前記試料上の前記熱電対の接触点までの距離（Ｌ）に基づいて、前記加熱点と前記接触点の間の熱拡散率（α）を次式により求める、微小熱伝導率測定装置。
α＝πｆ／（θ／Ｌ）↑２
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