適用製品
レーザ光強度への依存性を判定する方法、レーザ加工装置
目的
レーザ加工におけるレーザ光強度への依存性を、簡便な手法により、高精度に判定することができる技術を提供する。また、この判定に基づいてレーザ加工を行うことができる加工装置及び加工方法を提供する。
効果
レーザ加工におけるレーザ光強度への依存性を、簡便な手法により、高精度に判定することが可能になる。また、この判定に基づいてレーザ加工を行うことも可能になる。
技術概要
レーザ加工におけるレーザ光強度への相関性を判定する方法であって、
工作物の加工位置における、前記レーザ加工による加工状態を示す加工状態情報を取得するステップと、
レーザ光の強度分布を示す強度分布情報を取得する強度分布取得部を前記加工位置に設置し、その状態で、前記強度分布取得部に前記レーザ光を照射することによって、前記加工位置における前記強度分布情報を取得するステップと、
前記工作物の特定位置における前記加工状態情報と前記強度分布情報とに基づいて、前記工作物のレーザ加工における前記レーザ光強度への相関性を判定するステップと
を備えることを特徴とする方法。