効果
高調波ベースの干渉計の精度を従来と比べて向上し、放射光ベースの干渉計と同等以上の精度を実現できる。
技術概要
光学定数測定装置であって、
コヒーレント光を出力するコヒーレント光源と、
回折された光を撮像するイメージセンサを含む分光器と、
所定位置に配置される第１ダブルスリットと、
第１ダブルスリットと置換して配置される第２ダブルスリットと、
サンプルの光学定数を計算する演算処理装置と、
を備え、
モデルのパラメータおよびサンプルの光学定数を最適化し、サンプルの光学定数を取得することを特徴とする光学定数測定装置。
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開放特許情報
)
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