目的
感度、出力、消費電力、及びサイズに対する需要を同時に満足することが可能な、磁界センサを提供する。また、該磁界センサを備える磁界検出装置を提供する。
効果
外部磁場を検出することができる。感度を高めることが可能である。また、出力比を高めることが可能である。また、従来公知のトンネル磁気抵抗素子に比べて消費電力を低減できる。さらに積層構造はリソグラフィープロセスにより微細化が可能である。したがって、感度、出力、消費電力、及びサイズに対する需要を同時に満足することが可能である。
技術概要
第１の電極層と、
垂直磁気異方性を有する強磁性・強誘電材料を含んでなり、垂直磁場の印加により垂直成分を含む電気分極が誘起される、強磁性・強誘電層と、
垂直磁気異方性を有するソフト磁性材料を含んでなる、ソフト磁性層と、
を上記順に含む積層構造を備え、
前記積層構造は、
第２の電極層であって、該第２の電極層と前記第１の電極層との間に前記強磁性・強誘電層が挟まれるように配置された、第２の電極層
を含み、
前記ソフト磁性層が導電性である場合には、前記ソフト磁性層が前記第２の電極層を兼ねていてもよく、
前記強磁性・強誘電層に誘起された電気分極が、前記第１の電極層と前記第２の電極層との間に生じた電気信号として検出されることを特徴とする、磁界センサ。
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