目的
加工液の管理が容易で、コストを抑えることができ、加工後の加工物表面の砥粒の洗浄も簡易化でき、環境への負荷やコスト高を抑えることが可能なガラス研磨加工方法およびガラス研磨加工装置を提供する。
効果
砥粒の存在しない加工液で精度よくガラス面を研磨できるので、遊離砥粒を用いた研磨加工技術の課題（加工液の管理、コスト、環境負荷などの課題）を解決できるとともに、大面積を効率よく平坦に研磨できる。
技術概要
研磨面となる表面に、アクリルが位置し且つ砥粒を含まないアクリル製のツールと、
ガラス製のワークと前記アクリル製のツールとの間に、純水またはｐＨを調整した水溶液であって砥粒を含有しない加工液を供給する加工液供給手段と、
前記ワークと前記ツールを、互いに加圧接触させる加圧手段と、
前記加圧手段による加圧接触状態で、前記ワークと前記ツールを相対運動させて研磨加工を行う相対動作手段と、
を備えるガラス研磨加工装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
