目的
層状体から回収対象物を含む対象物層を剥離して回収する剥離回収方法を提供する。
効果
層状体から回収対象物を含む対象物層を剥離して回収する剥離回収方法を提供することができる。
技術概要
回収対象物を含む対象物層と、前記対象物層が積層された支持層とを有する層状体から前記対象物層を回収する剥離回収方法であって、
前記支持層の面上に圧力伝播層を配置する伝播層配置工程と、
前記圧力伝播層の面上に、レーザー光を受光して衝撃波を発生するエネルギー吸収層を配置する吸収層配置工程と、
前記エネルギー吸収層にレーザー光を照射して衝撃波を生じさせる照射工程と、
前記対象物層を層状に剥離して分離回収する剥離工程と、を含む、剥離回収方法。
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