適用製品
半導体レーザ素子、およびエピタキシャル基板
目的
多重量子井戸構造による利得向上効果を有効に引き出すことができる技術を提供する。
効果
多重量子井戸構造による利得向上効果を有効に引き出すことができる技術が提供される。
技術概要
n型およびp型の一方の導電型を有する第1クラッド層と、
前記第1クラッド層の上方に配置された活性層と、
前記活性層の上方に配置され、n型およびp型の他方の導電型を有する第2クラッド層と、
を有し、
前記活性層は、量子井戸層と障壁層とが交互に複数積層された多重量子井戸構造を有し、
複数の前記量子井戸層の各々は、InGaAs層で形成され、
複数の前記障壁層のうち、少なくとも1つの前記障壁層は、1つまたは複数のGaAsP層と、1つまたは複数のGaAs層と、を含む積層構造で形成され、
前記活性層は、5層以上の前記量子井戸層を有し、
複数の前記障壁層の全体における、前記GaAsP層の全厚さに対する前記GaAs層の全厚さの比率が、0.3以上4以下であり、
端面発光レーザである、半導体レーザ素子。