目的
測定対象の微細構造の状態変化を経時的に測定することができる測定装置、観察システム、及び測定方法を提供する。
効果
測定対象の微細構造の状態変化を経時的に測定することができる測定装置、観察システム、及び測定方法を実現することができる。
技術概要
測定対象と相互作用する作用部材と、
互いに隣接するスペクトル線の周波数の間隔が等間隔である複数のスペクトル線からなる第１の周波数コムである第１の電磁波信号を発生する第１の信号発生装置と、
第２の電磁波信号を発生する第２の信号発生装置と、
参照信号を発生する第３の信号発生装置と、
前記作用部材を前記測定対象と非線形接合部を形成するように配置した状態で、前記非線形接合部に入力された前記第１の電磁波信号と、前記非線形接合部に入力された前記第２の電磁波信号とが、前記非線形接合部において前記測定対象との相互作用により発生したヘテロダインビート信号を検出する検出部と、
前記参照信号を用いて前記ヘテロダインビート信号から特定の周波数成分を抽出し、内包された精密分光情報を復調する位相敏感検波器と、
クオーツ、又はルビジウムの遷移振動の周波数精度以上の周波数安定度を有する物質の振動を用いて、前記第１の電磁波信号、前記第２の電磁波信号、及び前記参照信号の周波数精度と位相とを同期させる発振器と、
を備えることを特徴とする測定装置。
基本情報
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その他の情報
