目的
測定対象の微細構造の状態変化を経時的に測定することができる測定方法、測定装置、及び観察システムを提供する。
効果
測定対象の微細構造の状態変化を経時的に測定することができる測定方法、測定装置、及び観察システムを実現することができる。
技術概要
測定対象と、該測定対象と相互作用する作用部材とが非線形接合部を形成するように、前記測定対象及び前記作用部材を配置する配置ステップと、
周波数が等間隔に並ぶ複数のスペクトル線からなる周波数コムである第１の電磁波信号を前記非線形接合部に入力する第１の信号入力ステップと、
第２の電磁波信号を前記非線形接合部に入力する第２の信号入力ステップと、
前記第１の電磁波信号と前記第２の電磁波信号とが、前記非線形接合部において相互作用して発生したヘテロダインビート信号を検出する検出ステップと、
を含むことを特徴とする測定方法。
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