目的
流路の光回折現象を利用することで、微粒子からの散乱光の簡易かつ高感度な計測を可能にする微粒子計測装置及び方法を提供する。
効果
流路を通過する粒子からの散乱光と流路からの回折光との干渉を、検出装置を用いて計測するので、一般的な干渉計測のようにコヒーレント光源を2光路に分岐し再合成する複雑な光学系を必要とせず、粒子からの散乱光の簡易かつ高感度な計測が可能になる。
技術概要
流路を照明する照明装置と、
前記流路からの光を検出する検出装置とを備え、
前記流路を通過する粒子からの散乱光と前記流路からの回折光との干渉を前記検出装置を用いて計測し、前記流路を通過する粒子に関する情報を取得する微粒子計測装置。