適用製品
半導体デバイス、物質濃度または電位の測定方法、及びトランジスタの校正曲線を得る方法
目的
水中で安定な酸化還元電位を示す半導体膜を備えた半導体デバイスが求められている。
効果
水中で安定な酸化還元電位を示す半導体膜を備えた半導体デバイスを提供することができる。
技術概要
基板、
前記基板上のソース/ドレイン電極、及び
前記ソース/ドレイン電極に接する半導体膜
を含み、
前記半導体膜が、イオン、酸化還元性物質、またはそれらの組合せの物質を含む水溶液と接触可能に構成されており、
前記半導体膜は、前記半導体膜の表面に、前記半導体膜の半導体特性を示す部位と共有結合された5nm以下の厚みの絶縁性の保護層を有する
半導体デバイス。