適用製品
レーザ加工装置、レーザ加工システム、及びレーザ加工方法
目的
ジェット安定長を伸長することにより高アスペクト比の微細穴等の加工の実現。
効果
水温調整装置がウォータチャンバから射出されるウォータジェットの温度を調節するので、ウォータジェットの安定長を伸長することができ、高アスペクト比の微細穴等の加工が容易になる。
技術概要
ウォータガイドレーザ光を生成するレーザ加工装置であって、
高圧水が供給されウォータジェットを射出するウォータチャンバと、
加工用レーザ光を前記ウォータチャンバ中に供給する加工光供給装置と、
前記ウォータチャンバから射出される前記ウォータジェットの温度を調節する水温調整装置と
を備えるレーザ加工装置。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
