目的
熱電特性の安定した熱電変換素子を得ることができる熱電変換素子の製造方法及び装置を提供する。
効果
熱電変換材料の形状や材質によって熱電変換材料自体の抵抗が熱電変換材料と電極との間の界面抵抗より大きくても、これに関係なく、熱電変換材料が過熱されることなく安定して確実に熱電変換材料と電極とを接合することができる。
技術概要
対向して配された導電材料からなる加圧部材の互いに対向する内面のそれぞれに絶縁層を形成し、
該絶縁層の内面に電極を配し、
該電極間に複数個の熱電変換材料を介装し、
前記加圧部材に通電して前記加圧部材を加熱しながら、
前記加圧部材を内側方向に加圧して、前記絶縁層と前記電極との接合、及び前記熱電変換材料と前記電極との接合を同時に行う熱電変換素子の製造方法であって、
前記加圧部材の外周部には、耐熱導電部材が加圧方向に摺接しながら挿通されていて、
該耐熱導電部材に通電することにより前記加圧部材を加熱しながら、
前記加圧部材は、前記耐熱導電部材に対して摺動させて内側方向に加圧されることを特徴とする熱電変換素子の製造方法。
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